羅茨泵與干泵、油旋片真空泵、水環泵組合使用，可在壓力800~1.3X10^-1Pa范圍內提高抽氣速率。是專為清潔度較高的場合設計的羅茨式真空泵。

特長

①潔凈的真空

腔體內沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的排氣性能。

②特殊表面處理

主要部件表面進行硬質氧化處理，提高耐腐蝕性，同事減少泵體內部損傷。

此特性可選，標準品表面不處理。

③配置變頻器縮短排氣時間

配置變頻器后與粗抽泵同時啟動，與標準泵相比有效縮短排氣時間。

此配件可選，標準品不配置。

用途

鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入、真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣、分析儀器、密封裝置、熱處理爐、溶解爐、其他各種真空裝置等。