羅茨泵與干泵、油旋片真空泵、水環(huán)泵組合使用，可在壓力800~1.3X10^-1Pa范圍內(nèi)提高抽氣速率。是專為清潔度較高的場合設(shè)計(jì)的羅茨式真空泵。

特長

①潔凈的真空

腔體內(nèi)沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。

②特殊表面處理

主要部件表面進(jìn)行硬質(zhì)氧化處理，提高耐腐蝕性，同事減少泵體內(nèi)部損傷。

此特性可選，標(biāo)準(zhǔn)品表面不處理。

③配置變頻器縮短排氣時(shí)間

配置變頻器后與粗抽泵同時(shí)啟動，與標(biāo)準(zhǔn)泵相比有效縮短排氣時(shí)間。

此配件可選，標(biāo)準(zhǔn)品不配置。

用途

鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入、真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣、分析儀器、密封裝置、熱處理爐、溶解爐、其他各種真空裝置等。